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日立高新技術公司于2016年4月15日在全球發布了新型掃描電子顯微鏡——FlexSEM 1000。該產品結構緊湊，占地面積小，但分辨率不輸大型電鏡，同時操作極其簡便，幾乎不用培訓就可操作。緊湊型設計，分辨率為4 nm。
掃描電子顯微鏡可對材料的表面進行高倍率觀察及高精度元素分析，在納米技術、生命科學、產品設計研發及失效分析等領域有著廣泛的應用。 近年來，掃描電鏡觀察表面精細結構及元素分析的需求日趨增加，而越來越多的用戶希望能在生產線、品保檢驗線和辦公區等有限的空間里使用掃描電子顯微鏡。因此，體積小、操作簡便、分辨率高的掃描電子顯微鏡備受關注。FlexSEM 1000主機寬450mm、長640mm，相比SU1510型號體積減小52%，重量減輕45%，功耗減小50%，且配備標準化的電源接口。主機與供電單元可分離，安裝非常靈活。
FlexSEM 1000采用最新設計的電子光學系統和高可靠性、高靈敏度的探測器，分辨率高達4nm。FlexSEM 1000有多種自動化功能，操作簡便，即便是初次操作者也能快速拍出高質量圖像。另外，新開發的導航功能「SEM MAP」可使用各種光學圖片或電鏡照片進行導航，一鍵就快速精準地切換至感興趣的高倍率視野。
緊湊型VP-SEM FlexSEM 1000
(主機與供電單元可分離)
特點：
a. 通過高靈敏度二次電子探測器，背散射探測器，低真空探測器（UVD*2），實現低加速電壓/低真空下高質量圖像觀察
b. 操作簡捷，即使新手也能拍出高質量的圖片
c. 新開發的導航功能「SEM MAP」，便于快速鎖定視野
d. 大窗口（30 mm2）SDD能譜系統，便于快速分析元素成分*2
*1 設置在桌面時，分離主機和電源箱
*2 選配
高靈敏度低真空二次電子探測器（UVD）
能量分散型X線探測器（EDS）
項目
內容
分解能*3
4.0 nm @ 20 kV （SE：高真空模式）
15.0 nm @ 1 kV （SE：高真空模式）
5.0 nm @ 20 kV （BSE：低真空模式）
加速電壓
0.3 kV ～ 20 kV
放大倍率
6× ～ 300,000× （底片倍率）
16× ～ 800,000× （顯示倍率）
低真空模式
真空范圍：6 ～ 100 Pa
電子槍
預對中鎢燈絲
樣品臺
3-軸自動馬達臺
X：0 ～ 40 mm, Y：0 ～ 50 mm, Z：5 ～ 15 mm
R：360°, T：-15° ～ ＋90°
最大樣品尺寸
直徑80 mm
最大樣品高度
40 mm
尺寸
主機：450（W） x 640（D） x 670（H） mm
供電單元：450（W） x 640（D） x 450（H） mm
探測器選配
